технологии и оборудование научые исследования информационные ресурсы

 
 

 

Вакуумные системы напыления

Высокопроизводительные системы напыления, основанные на магнетронах

Область применения:

Разнообразные области, где требуется пленочные покрытия со специальными электрическими, механическими, магнитными и оптическими свойствами, обладающие высокой адгезией между напыляемой пленкой и основной деталью.

Технические характеристики:

  • Арочная конфигурация магнитного поля создаваемая постоянными или электрическими магнитами
  • Разнообразные конфигурации мишени, различных форм и геометрий и материалов
  • Ток разряда до 10 A
  • Напряжения разряда: 400-800 V
  • Скорость напыления ~ 100 нМ в минуту

Исследования и разработки

  • Исследования взаимодействия плазмы с мишенью
  • Исследование магнетронного разряда в перекрестных электрических и магнитных полях
  • Изготовление магнетронных систем по заказу
Magnetron
Магнетрон Различные размеры Несбалансированный режим
 
Copyright © 1998-03 Plasma LAB | e-mail:tsyg@bmstu.ru